李金城 
KF真空球閥適用于真空系統(tǒng)中接通或切斷管路的介質(zhì)流。該閥采用回轉(zhuǎn)型電動(dòng)、電子調(diào)節(jié)式閥門驅(qū)動(dòng)裝置，可以通過外接電源的切換（用手動(dòng)轉(zhuǎn)位開關(guān)或電腦控制）或外部輸入信號(hào)，來實(shí)現(xiàn)閥門開、關(guān)或中間位置的控制。閥門為直通式，靠球面密封，因而既能用在真空狀態(tài)下，也能在低壓狀態(tài)下使用。并可以任意位置安裝。
KF真空球閥-電動(dòng)驅(qū)動(dòng)規(guī)格：
閥尺寸：1” to 2”
法蘭：KF(NW)
壓力范圍：2atm ~ 1x10-4 Torr
泄漏率: 9x10-7 mbar.l/s
材質(zhì)：SUS316 , PTFE
最高溫度：Electric drive 80°C / Body 150°C
全開所需時(shí)間：50Hz-13sec , 60Hz-12sec
在P/ N的最后一個(gè)字母代表電動(dòng)電壓 : A=AC 110V , B= AC 220V , C=AC 220 3? , D=AC 380 3?
選項(xiàng)：限位開關(guān)
注意：標(biāo)準(zhǔn)電壓110V, 其他電壓請(qǐng)見第8點(diǎn)
Model No. | KF25BV107E | KF40BV130E | KF50BV151E |
Parts No. | 320111310113A | 320113310113A | 320114310113A |
A | 231 | 258 | 318 |
B | 107 | 130 | 151 |
C | 114 | 119 | 114 |
D | 79 | 79 | 57 |
Connector | KF25 | KF40 | KF50 |
Size | 1" | 1.5" | 2" |
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可維修應(yīng)用于各種制程的真空閥：
CVD / PVD / Etch
可維修安裝于各廠牌設(shè)備的真空閥：
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