李金城 
臺灣HTC真空閥門是指在真空系統中，用來改變氣流方向，調節氣流量大小，切斷或接通管路的真空系統元件。真空閥門關閉件是用橡膠密封圈或金屬密封圈來密封的。
常用真空閥門產品
真空閥
用于高真空或超高真空系統設備，當必須在封閉的真空處理系統中保持真空。真空閥用于控制進入真空腔體的氣流，隔離，排氣，提供減壓或控制傳導。閘閥、Inline閥和角閥是用于高真空或超高真空應用的最常見類型的真空閥。額外的閥門類型包括蝶閥，傳輸閥，球閥，鐘擺閥，全金屬閥，真空閥，鋁合金角閥，特氟龍涂層真空閥和直通閥。
蝶閥
是快速打開的閥門，由金屬圓盤或葉片組成，其樞軸線與管道中的流動方向成直角，當在軸上旋轉時，閥門密封閥體中的閥座。
傳輸閥（矩形閘閥）
適用于負載鎖定真空腔體和轉移室之間的分隔閥，以及轉移室和半導體制造設備中的處理室之間的分隔閥。
真空球閥
是四分之一轉直通流量閥，具有圓形封閉組件，帶有匹配的圓形閥座，可實現均勻的密封應力。
鐘擺閥
是在過程真空腔體和渦輪分子泵入口之間安裝一個大節流閥。這種真空鐘擺閥通常設計為閘閥或擺閥，應用包括OLED，FPD和PV工業制造系統。
全金屬閥門
設計用于超高真空環境，其中高溫不允許使用彈性體和低溫墊片金屬。可烘烤的全金屬閥門可提供從大氣壓到10-11mbar以下的可靠高溫密封。
真空閥門
可在半導體生產系統和化學和微粒污染的應用中可靠地運行。它們可用于粗真空，高真空或超高真空環境。
鋁合金角閥
的入口與出口成直角。這些角閥材料為鋁A6061-T6，用于半導體和儀器制造，研發和工業真空系統的粗到高真空應用。
鐵氟龍涂層真空閥是一種完全設計的不銹鋼真空組件設備，具有耐用且高度耐化學腐蝕的涂層。
臺灣HTC真空閥門具有下列特點：
壓力低于大氣壓，而閥瓣上的壓降不能超過1公斤力/厘米。介質的工作溫度取決于使用裝置的工藝過程。溫度一般不超過-70 ~ 150℃的范圍。
對這類閥門最基本的要求是保證連接的高度密封性和結構與墊片材料的致密性。
按介質壓力真空閥門可分成四組：
1）低真空閥門：介質壓力p=760~1毫米汞柱.
2）中真空閥門：p=1×10-3 毫米汞柱。
3）高真空閥門：p=1×10-4 ~1×10-7 毫米汞柱.
4）超高真空閥門：p≤1×10-8 毫米汞柱。
作為通徑小于250毫米的閉路閥門，被廣泛采用的的閥桿作直線運動的真空波紋管截止閥。閘閥卻受到較大的限制，但這主要是對于大通徑來說的。可用的還有球 形旋塞閥（球閥）、柱塞閥和蝶閥。作真空閥用的旋塞閥未得到推廣，因為旋塞閥需要用油潤滑，使油汽可能進入真空系統，而這是不允許的。真空閥門既可用現場手控和遙控，也可用電動、電磁傳動（電磁閥）、氣動和液動控制。
